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MSA-600
Micro System Analyzer

MEMS의 3D 역학 및 지형 측정

MEMS 디바이스 (Micro-Electro-Mechanical Systems)와 같은 미세 구조를 테스트하고 개발하려면 표면 지형 및 동적 모션 분석 ​​및 시각화가 중요합니다. FE 계산을 검증하고 누화 효과를 결정하고 표면 변형을 측정하는 데 반드시 필요합니다.

MEMS 용 올인원 광학 측정 솔루션

MSA-600 마이크로 시스템 분석기는 평면 내 및 평면 외 모션뿐만 아니라 표면 지형 특성 분석을위한 올인원 광학 측정 워크 스테이션입니다. 이 계측기는 오늘날과 미래의 미세 구조의 요구에 맞게 측정 유연성과 정밀도를 향상시킵니다. Micro System Analyzer는 정확한 3D 동적 및 정적 응답 데이터를 제공하여 개발 및 제조 비용을 줄이면서 장치 성능을 향상시킵니다. 따라서 설계주기를 개선 및 단축하고 문제 해결을 단순화하며 수율을 향상시킵니다. 

고성능 레이저 도플러 진동계는 PM 미만 변위 분해능으로 빠른 실시간 응답 측정을 제공합니다. 또한 백색광 간섭계 옵션은 몇 초 안에 수백만 개의 3D 표면 데이터를 제공합니다. 직관적 인 조작과 직관적 인 사용자 인터페이스로 보완 된 MSA-600은 연구 개발 (R & D) 및 품질 관리 (QC)의 강력한 광학 측정 솔루션입니다. 일반적인 프로브 스테이션과 호환되는 마이크로 시스템 분석기는 MEMS 프로토 타이핑에서 테스트 및 문제 해결에 이르기까지 모든 개발 단계에서 도움이되므로 생산 비용을 절감하고 출시 시간을 단축 할 수 있습니다.

MSa-600 Micro System analyzer ( MSa-600 미세구진동측정장비)

MSA는 2005 Sensor Awards에서 대상을 수상하였으며 MEMS와 MOEMS에서  필수적인 3축의 모션측정을 위한 LDV, Stroboscopic 그리고 Topography 측정이 가능한 Hybrid 모델이다. 현미경과의 일체화로 광학적으로 최적화되어 있어 최고 700nm의 레이저 스팟크기로 깨끗한 영상획득이 가능하다.

특성

  • 짧은 측정주기 (OOP in ms)를 통한 생산성의 증대
  • 모든 OOP와 IP 공진의 빠른 정의와 시각화
  • 직관적인 소프트웨어 제공으로 빠르고 쉬운 세팅
  • 미세구조물의 In-plane과 out-of-plane 모션측정
  • 주파수와 타임 도메인 데이터 표시
  • 자동생산을 위한 스크립팅 제공과 MEMS 용 Probe station과의 통합가능
  • OOP 0 Hz~1 MHz(standar d), 0 Hz~20 MHz(Optional), Pico meter 분해능
  • IP 001 Hz~2 MHz , Bode plot, animation, nanometer 분해능
  • Sub nanometer 분해능의 topogr aphy 측정 (MSA-Top) (option)

 

응용분야

  • Characterizing out-of-plane and in-plane motion of MEMS devices
  • Continuous frequency domain measurements for device performance analysis
  • Microstructure failure analysis and reliability testing
  • Testing and refining of simulation models
  • Transient behavior analysis using time-domain Identification of in-plane ersonances through out-of-plane coupling
  • Step response and ring down measurements to determine actuator settling times
  • Wafer-level MEMS motion analysis using a probe station
  • Bode plot graphs and analysis

 

          Media

 

                  MSA-600