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MSA-100-3D Micro System Analyzer
3-D Vibration Measurements Now Available for Microsystems

MEMS 및 마이크로 시스템을위한 3D 진동 측정

실제 물체의 진동은 대개 3 차원입니다. 실제로 우선적 인 방향을 보여줄 수 있지만, 생산 공차 및 기타 영향으로 인해 다른 공간 방향으로도 이동 구성 요소가 발생합니다. MSA-100-3D 마이크로 시스템 분석기를 사용하여 광대역의 실시간으로 통합 된 방식으로 샘플의 동적 동작을 분석 할 수 있습니다. 세 가지 공간 방향의 진동 성분은 동시에 고해상도로 기록되며 통합 된 데이터 기록으로 분석됩니다. 진동 방향에 관계없이 레이저 진동계의 일반적인 하위 피코 미터 진폭 분해능을 얻을 수 있습니다.

실생활은 3D로 발생하기 때문에

Microtec MSA-100-3D는 미세한 레이저 스폿 및 최대 25MHz의 주파수 대역폭으로 인한 높은 측면 해상도와 함께 MEMS (Microelectromechanical Sensor and Actuator), 기타 미세 구조 및 생물학적 샘플의 특성을 측정하는 데 이상적인 측정 장치입니다. 전체 필드 특성화를 위해 MSA-100-3D는 소프트웨어가 샘플을 스캔 한 다음 편향 모양을 그래픽으로 표시하여 전체 표면에서 샘플을 분석합니다.

MSA-100-3D 마이크로 시스템 분석기는 높은 횡 방향 해상도로 3D 진동 분석을 위해 설계되었습니다. 특히 마이크로 시스템, 정밀 기계 부품 및 데이터 저장 산업에서 HGA 및 보조 액추에이터의 역학에 대한 연구에 적합합니다.

이 장비는 비행기 외 및 비행기 내 모션 모두에 대해 pm 해상도를 지원하는 새로운 3D 진동계 설정을 기반으로 합니다. 주파수 대역폭은 25 MHz입니다. 고정밀 샘플 이동을 위한 완벽한 소프트웨어 지원 기능을 갖춘 통합 XY- 트래버스 스테이지는 3D 처짐 형태를 얻기 위해 스캔 된 측정을 가능하게 합니다.

옵션인 통합 XY 위치 테이블과 정교한 소프트웨어를 사용하면 프로브를 쉽게 처리할 수 있습니다.

특성

  • 최대 25 MHz의 높은 대역폭으로 실시간 측정
  • Out-of-Plane 및 In-Plane 모션 모두를 위한 Sub-pm 변위 분해능
  • 단일 포인트 및 전체 필드 스캐닝 측정
  • 높은 측면 해상도를 위한 작은 스팟 크기 <4 μm
  • 38mm의 큰 스탠드 오프 거리
  • 프로브 스테이션 호환 가능
Media

    msa100-3d